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      產(chǎn)品名稱:芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺

      產(chǎn)品型號:P51系列

      產(chǎn)品報價:

      產(chǎn)品特點:芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺 三維θxθyZ向壓電偏擺臺P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設計,響應速度快、閉環(huán)定位精度高,80&#215;80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。

      更新日期:2025-02-23

      P51系列芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺的詳細資料:

      芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺特性:

       • ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運動及Z向110μm直線運動                 • 閉環(huán)定位精度高                    

       • 80×80mm大通光孔                    • 分辨率高                 • 外形超薄                    • 響應速度快

       

      芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺外觀形狀

      外觀形狀  

         產(chǎn)品運動示意圖  

        閉環(huán)曲線  

       

        閉環(huán)傳感精度高  

         頻率負載曲線  

         仿真分析  

      P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺,偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達110μm。

      P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導向結(jié)構(gòu),采用有限元分析進行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導向精度。

      可選擇內(nèi)置精密傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,確保其具有良好的運動控制精度,直線運動分辨率可達到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。

      通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導向機構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設計運動方向上zui高的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運動,因為鉸鏈機構(gòu)無間隙、無摩擦。

       

        超薄的設計適用于顯微應用且可負載大鏡片  

        產(chǎn)品測試  

       

      P51壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm,非常適用于需要透射光的應用,負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

      P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應用設計的,臺體非常薄,厚度僅為20mm,非常易于集成到高精度顯微鏡中。

      校準調(diào)測

      震動實驗

       

      3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺

      驅(qū)動方式  

      P51壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,并配合Z軸升降運動,再通過控制電壓的大小,對于固定的光路距離,可進行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。

       

        應用  

             • 光束掃描  • 激光合束對準與激光致盲   • 干涉/計量  • 空間擾動模擬系統(tǒng)  • 光路調(diào)整  • 掩模與晶片位置調(diào)整  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術(shù)  • 表面結(jié)構(gòu)分析

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