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      產(chǎn)品名稱:S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺

      產(chǎn)品型號:

      產(chǎn)品報價:

      產(chǎn)品特點:S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80&amp;amp;#215;80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

      更新日期:2025-02-23

      S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺的詳細資料:

      S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

      特性:

       θx, θy 偏擺運動,Z向升降 閉環(huán)定位精度高 響應(yīng)速度快 透光孔:80×80mm

      典型應(yīng)用

      • 掃描顯微 • 激光合束對準(zhǔn)與激光致盲

      • 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng)

      • 生物技術(shù) • 掩模與晶片位置調(diào)整

      仿真分析

      通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計運動方向上的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許 *精度的運動,因為鉸鏈機構(gòu)無間隙、無摩擦。

      超高導(dǎo)向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高

      S51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺,偏轉(zhuǎn) 行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達110μm。P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用 有限元分析進行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度??蛇x擇內(nèi)置精密傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,確保其 具有的運動控制精度,直線運動分辨率可達到亞納米 級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。  

      超薄的設(shè)計適用于顯微應(yīng)用

      S51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準(zhǔn)、納米聚焦、計量等應(yīng) 用設(shè)計的,臺體非常薄,厚度僅為20mm,非常易于集成到高精度顯 微鏡中。

      S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)參數(shù):


      型號

      尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

      S51.ZT1S 

      S51.ZT1K


      單位

      運動自由度

      θx, θy, Z


      標(biāo)稱直線行程范圍(0~+120V)

      80

      μm±20%

      大直線行程范圍(-20~+150V)

      110

      μm±20%

      標(biāo)稱偏擺角度 (0~+120V)

      ±0.9/

      mrad±20%

      大偏擺角度 (-20~+150V)

      ±1.1/

      mrad±20%

      傳感器類型

      SGS/-


      閉/開環(huán)Z向位移分辨率

      7/4

      nm

      閉/開環(huán)θx, θy偏擺分辨率

      0.25/0.05

      μrad

      閉環(huán)線性度

      0.1/-

      %F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度

      0.05/-

      %F.S.

      推/拉力

      120/15

      N

      運動方向剛度(Z向)

      1.5

      N/μm±20%

      空載諧振頻率

      230

      Hz±20%

      閉/開環(huán)空載階躍時間

      30/4.5

      ms±20%


      閉環(huán)空載 工作頻率

      10%行程

      50


      Hz±20%

      行程

      15

      大承載

      1

      kg

      靜電容量

      3.6/

      μF±20%

      材質(zhì)

      鋁、鋼


      重量

      820

      g±5%

      以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。


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