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      產品名稱:CAP電容測微儀系列

      產品型號:

      產品報價:

      產品特點:CAP電容測微儀系列通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移,測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成,可組成多通道測量。

      更新日期:2025-02-24

      CAP電容測微儀系列的詳細資料:


      E09.Cap電容非接觸式測微儀,通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移,測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成,可組成多通道測量。

      CAP電容測微儀系列特性:

      • 模塊化設計、自由組拼

      • 可提供單個板卡模塊

      • 高分辨率 • 模擬輸出

      • 非接觸式測量

      原理

      它基于一個理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目 標形成的兩個電極,采用保護環(huán)電容器原理,用于測量任何金屬 時,傳感器仍是線性的。

      應用:

      • Z向水準測量 •  X, Y向定位

      • 軸向振動測量

      • 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器


      CAP電容測微儀系列技術參數(shù)

      型號

      E09.Cap

      單位

      量程范圍

      0~200

      μm

      線性度

      ±0.1

      μm

      靜態(tài)分辨率

      2.5

      nm

      動態(tài)分辨率(1kHz)

      100

      nm

      傳感器直徑

      10

      mm

      小目標直徑

      10

      mm

      靜態(tài)重復性

      5

      nm

      信號溫度穩(wěn)定性

      < 0.005

      %FSO/℃

      長期穩(wěn)定性

      < 0.04

      %FSO/ 月

      帶寬

      2

      kHz(-3dB)

      工作溫度范圍

      +10~+50

      環(huán)境濕度

      <85

      %

      電壓輸出范圍

      0~+10

      V

      供電電壓

      220VAC 50Hz±10%


      傳感器線長

      1.6

      m

      板卡尺寸:長×高× 深

      35×130×180

      mm

      機箱尺寸:長×高× 深

      280×170×360

      mm


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